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チラーとは?【主な仕組みと冷却方法】

どんな仕組み?
チラーとは、水や冷却液の液温を管理しながら循環させることによって、
半導体製造装置やその他産業機器、工作機械、分析装置などの温度を一定に保つ装置です。
英語で「冷やす」という意味の「Chill」という語が名前の由来ですが、
冷却目的だけでなく温めるためにも利用されます。

水(液)をチラーユニット内部でぐるぐる回し冷却対象の熱を奪って冷やす中で、
その水自体の温度も上昇するため、再び循環水として利用するには温度を下げる必要があります。

循環水の冷却には、大きく分けて空冷式と水冷式の2つがあります。

空冷式:チラーユニット内部にファンがあり、外気と熱交換をすることで循環水を冷却します。
水冷式:循環水を冷却するためにさらに水を引き、その冷却水との熱交換で冷却します。

従来の空冷式チラーでは、気体を圧縮し連続的に送り出すためにコンプレッサー(圧縮機)が使用されてきましたが、
弊社が正規代理店を務めるLaird Thermal Systems社では、
コンプレッサー式の熱管理に代わる小型熱電(ペルチェ)アッセンブリ(TEA)を使用することで小型化を実現し、
より正確な温度管理が可能なペルチェ式チラーを提供しています。
 
 
Laird Thermal Systems社製レーザーシステム向け小型再循環型MRCチラー(ペルチェ式)
チラーメーカーでもあるLaird Thermal Systems(レアードサーマルシステムズ)のペルチェ式チラーは
従来使用されてきたコンプレッサー式チラーと比べ、静音で小型(卓上サイズ)、軽量という点で特に優れています。
冷却能力は150W又は300Wより選択可能です。

【主な対象アプリケーション】
・分析器
・医療用レーザー
・光学レーザー
・産業機器
・計測器

 
 
半導体励起固体レーザー (DPSS:Diode Pumped Solid State)や半導体ウェーハのスライシング(切断)といった、
幅広いレーザーシステムに対応します。
医療分野においては、生体組織の切除等に利用される医療用レーザーや、
画像診断機器から高精細画像を保存するイメージング検出器ヘッドの温度コントロールにも適しています。

データシートもございますので、是非一度お問い合わせ下さい。
お問い合わせはこちら!
 

関連リンク
Laird(メーカー紹介ページ)
MRCチラー

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