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  1. チラーとは?【主な仕組みと冷却方法】

    どんな仕組み?チラーとは、水や冷却液の液温を管理しながら循環させることによって、半導体製造装置やその他産業機器、工作機械、分析装置などの温度を一定に保つ装置です。英語で「冷やす」という意味の「Chill」という語が名前の由来ですが、冷却目的だけでなく温めるためにも利用されます。

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